在高溫真空爐開始升溫前檢查水路各閥門是否能打開，水流是否通暢。做好高溫爐開機前的準備工作后，打開手動閥，就可以按下總電源控制面板上的“機械泵開”按鈕啟動機械泵，這時“機械泵開”按鈕顯示燈亮。開真空計，等待真空計低真空部分顯示＜10Pa時（如有旁抽，打開手動旁抽閥，由旁抽管路對系統預抽真空。待低真空顯示＜10Pa時，關閉手動旁抽閥。開主閥。真空顯示＜10Pa時）打開分子泵電源，按下分子泵控制電源面板上的“啟動”按鈕，啟動分子泵。待分子泵達到正常轉速后5～7分鐘，這時應該已經達到真空計電離規允許啟動的真空度，按下真空計控制電源電離部分的“開電離”按鈕，觀察真空計高真空數值。